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法國頂尖科研訪問團蒞臨國儀中心 共探 EUV 檢測新未來 (2026/11/11)

2026/11/13

來自法國頂尖科研機構的學者專家團隊於 11 月 11 日偕同中央研究院原子與分子科學研究所張煥正教授蒞臨國儀中心參訪交流。

本次來訪的法方貴賓陣容堅強,涵蓋多個重要學術與研究單位,包括:
◆ 巴黎薩克雷高等師範學院 (ENS Paris-Saclay):Jean-François ROCH 特級教授 (Professor classe exceptionnelle)、Marie-Pierre ADAM 研究工程師、Gizem Nuran YAPICI 博士候選員
◆ SOLEIL 同步加速器中心:表面科學實驗室主任 Stefan Kubsky 博士、科學家 Marie Andrä 博士
◆ 法國原子能與替代能源委員會 (CEA):研究科學家 Loïc TORAILLE 博士
◆ 巴黎化學研究中心 (IRCP):Mary DE FEUDIS 副教授

參訪期間,國儀中心團隊向訪賓詳細介紹了中心在極紫外光檢測 (EUV Inspection) 儀器設備領域的前瞻技術開發以及未來的技術發展藍圖,雙方進行熱烈且深入的探討,並就未來的潛在合作方向交換意見。