國家儀器科技研究中心

奈米檢測技術

本中心歷時兩年所編纂之＜奈米檢測技術＞一書，已於九十八年四月隆重出版。本書邀集了產、學界六十餘位專家學者共同執筆撰寫。全書共有九章、六百餘頁，介紹在奈米尺度下，如何檢測各種元件和材料的奈米結構與性質，藉以研究各種奈米結構的力、光、電、磁等性質。本書的內容首先係以整體奈米科技為開端，接續為各種檢測方法、儀器設備與關鍵技術的介紹，最後則以具前瞻性的奈米檢測技術作為未來的展望。

定價：精裝本 950 元，平裝本 800 元。

光學元件精密製造與檢測

本中心歷時兩年所編纂之「光學元件精密製造與檢測」一書，已於九十六年五月隆重出版，歡迎訂購。本書邀集了產、學界五十餘位專家學者共同執筆撰寫。全書共有十七章、六百餘頁，從光學系統及基礎光學設計開始，介紹光學材料特性，以及相關國際光學元件製圖標準，並詳述各類加工製造技術與檢測方法，進而以實例廣泛介紹光學元件的應用，最後則深入介紹光學元件的遠景及未來發展。

定價：精裝本 980 元，平裝本 850 元。

光機電系統整合與概論

本中心邀集產、學界專家學者所編纂之「光機電系統整合概論」一書，已隆重出版，歡迎訂購。我國的光電產業產值成長十分快速，而隨著微機電系統技術的成熟，光機電系統的應用需求更與日俱增。然而光機電系統的整合跨越多種技術領域，相關人才非常缺乏，故本中心籌劃出版「光機電系統整合概論」一書，目的就是為培養我國跨領域之光機電研究人才，以建立關鍵性元件自組能力及系統開發能量，進而拓展我國光機電產業發展空間與提升國際競爭力。本書邀集了光電、機械、電機及電子領域五十餘位專家學者共同執筆撰寫。全書共九章，從系統概論開始，詳述光學基礎理論，接續介紹光電轉換與整合、機電整合及光機整合等技術，進而說明系統整合設計、模擬，以及相關組裝與檢測分析技術，並以投影機、雷射全像數位系統及視覺取像系統作實例介紹，最後則深入介紹光機電系統的遠景及未來發展。

定價：精裝本 900 元 (已無庫存)，平裝本 750 元

微機電系統技術與應用

本中心匯集全國菁英所編纂之「微機電系統技術與應用」一書，已隆重出版。本書邀集了微機電技術領域近百位專家學者共同執筆撰寫。全書共十四章、一千三百餘頁，從基礎微加工製程開始，詳述矽基與非矽基微加工製程技術，並探討微機電材料，介紹微結構與微感測器、微致動器等元件技術，進而說明系統的整合與介面、系統的封裝，以及相關檢測與模擬分析技術。最後則廣泛介紹微機電系統的應用，並以微機電系統的遠景及未來發展作為邁向奈米機電技術的跳板。

真空技術與應用

本中心歷時三年之久所編纂之「真空技術與應用」一書，已經隆重出版。本書邀集了產、學界五十餘位專家共同執筆撰寫。全書共二十四章、七百餘頁，概分為基礎及實務二篇。基礎篇探討真空的基礎理論、各式真空幫浦的介紹、各類真空元件及材料、真空系統的設計組裝、真空測漏實務，以及真空度量與檢校等；實務篇則介紹真空技術在各種鍍膜技術、製程系統及學科領域的應用與需求。

定價：精裝本 850 元 (已無庫存)，平裝本 700 元

儀器總覽

「儀器總覽」是第一部中文儀器百科全書。從籌劃、撰文、編輯到打字排版，歷時三年，已於中華民國八十七年十二月十五日出版，是認識科學儀器的最佳參考書、工具書。

「儀器總覽」全套六冊，定價新台幣 1500 元。
已於中華民國八十七年十二月十五日出版。

應各界的反應與需求，即日起開放分冊購買，各單冊價格如下：

分冊內容	定價
目錄索引	150 元
基本物理量量測儀器	300 元
光學量測儀器	250 元
化學分析儀器(無庫存)	300 元
材料分析儀器(無庫存)	250 元
表面分析儀器(無庫存)	200 元
電子測試儀器	250 元
醫療儀器	300 元
環境及安全衛生檢測儀器	250 元

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5: 序言
7: 諮詢委員
9: 編審委員
11: 編輯說明
: 各類組目錄
15: 基本物理量量測儀器目錄
19: 光學量測儀器目錄
23: 化學分析儀器目錄
27: 材料分析儀器目錄
31: 表面分析儀器目錄
33: 電子測試儀器目錄
35: 醫療儀器目錄
39: 環境及安全衛生檢測儀器目錄
43: 儀器中文名稱索引
49: 儀器英文名稱索引
55: 中文關鍵字索引
69: 英文關鍵字索引

化學分析儀器

頁碼	標題	作者
原子光譜儀
1	原子吸收光譜儀 Atomic Absorption Spectrometer (AAS)	王家麟
4	原子放射光譜儀 Atomic Emission Spectrometer (AES)	王家麟
6	感應耦合電漿原子發射光譜儀 Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer (ICP-AES)	藍啟仁
10	X 光螢光光譜儀 X-ray Fluorescence Spectrometer	陳榮顯
分子光譜儀
14	紫外光∕可見光吸收光譜儀 Ultraviolet-Visible Absorption Spectrometer	葉玉堂
17	近紅外光吸收光譜儀 Near-Infrared Absorption Spectrometer	王家麟
19	紅外光吸收光譜儀 Infrared Absorption Spectrometer	葉玉堂
22	螢光光譜儀 Fluorescence Spectrometer	林萬寅
25	雷射拉曼散射光譜儀 Laser Raman Scattering Spectrometer	江建志張大釗
29	雷射光散射光譜儀 Laser Scattering Spectrometer	陳鉉升張煥宗
32	化學發光測量儀 Chemiluminescence Photometer	柯淑惠張煥宗
35	生物發光測量儀 Bioluminescence Photometer	柯淑惠張煥宗
共振儀 (波譜儀)
38	核磁共振儀 Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer (NMR)	黃良平
41	固態核磁共振光譜儀 Solid State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer (NMR)	劉尚斌
45	電子自旋共振儀 (電子順磁共振儀) Electron Spin Resonance Spectrometer (ESR)	何東英
質譜儀
49	質譜∕質譜儀 Mass Spectrometer/Mass Spectrometer (MS/MS)	李茂榮
52	氣相層析∕質譜儀 Gas Chromatography/Mass Spectrometer (GC/MS)	張玉珍
54	四極矩質譜儀 Quadrupole Mass Spectrometer	丁望賢華希哲
57	離子阱質譜儀 Ion Trap Mass Spectrometer	曾新華丁望賢
60	磁扇形場式質譜儀 Magnetic Sector Mass Spectrometer	李茂榮
63	飛行式質譜儀 Time of Flight Mass Spectrometer (TOF-MS)	何國榮
66	傅立葉轉換質譜儀 Fourier-Transform Mass Spectrometer (FT-MS)	韓肇中
69	快速原子撞擊質譜儀 Fast Atom Bombardment Mass Spectrometer (FAB-MS)	劉建忠
71	大氣壓離子化質譜儀 Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (API-MS)	傅明仁
74	雷射脫附質譜儀 Laser Desorption Mass Spectrometer	陳月枝
77	感應耦合電漿質譜儀 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (ICP-MS)	江旭禎
電化學分析儀
80	酸鹼度測定儀 pH Meter	古琇文
82	導電度計 Conductivity Meter	劉公典
84	電位滴定儀 Potentiometric Titrator	黃榮茂
86	伏特安培儀 Voltammeter	葉玉堂
層析
90	高效能薄層分析儀 High Performance Thin-Layer Chromatography (HPTLC)	桂椿雄周生郁
95	氣相層析儀 Gas Chromatography (GC)	盧正權
98	低壓液相層析儀 Low Performance Liquid Chromatography (LPLC)	丁望賢
101	高效能液相層析儀 High Performance Liquid Chromatography (HPLC)	盧正權
104	大小排除層析 Size-Exclusion Chromatography (SEC)	陳威希劉春櫻
107	離子層析儀 Ion Chromatography (IC)	黃榮茂
110	超臨界流體層析儀 Supercritical Fluid Chromatography (SFC)	桂椿雄沈桓儀
114	逆向流層析 Countercurrent Chromatography (CCC)	陳建良劉春櫻
其它
117	平板凝膠電泳 Slab Gel Electrophoresis	陳鉉升張煥宗
120	毛細管電泳 Capillary Electrophoresis (CE)	李盈壕
123	場流分離儀 Field-Flow Fractionation (FFF)	傅傳博
126	流動注入分析儀 Flow Injection Analyzer (FIA)	黃榮茂
129	超臨界流體萃取儀 Supercritical Fluid Extractor (SFE)	桂椿雄林維炤沈桓儀
133	熱卡計 Calorimeter	鄭淑芬
136	微差掃描卡計 Differential Scanning Calorimeter (DSC)	鄭淑芬

139	中文關鍵字索引
143	英文關鍵字索引

電子測試儀器

頁碼	標題	作者
基本電性量測儀器
1	信號產生器 Signal Generator	謝金明
6	類比示波器 Analogic Oscilloscope	盧婉君
9	數位示波器 Digitizing Storage Oscilloscope (DSO)	劉根全
12	數位三用電表 Digital Multimeter (DMM)	葉貞秀
16	電流分析儀 Current Meter (Current Probe)	廖泰杉
21	邏輯分析儀 Logic Analyzer	謝金明
25	計數器 Counter	柯映華
高低頻電子儀器
30	網路分析儀 Network Analyzer	謝金明
35	頻譜分析儀 Spectrum Analyzer	張永昌
41	功率計 Power Meter	謝金明
45	阻抗分析儀 Impedance Analyzer/ LCR Meter	許喬富
50	音頻信號分析儀 Audio Analyzer	張永昌
54	動態信號分析儀 Dynamic Signal Analyzer (DSA)	呂晏榮
積體電路測試儀器
56	曲線掃描儀 Curve Tracer	彭兆光
58	積體電路雷射掃描檢測系統 IC Laser Scanning Inspection System	蔡哲男陳貞夙
61	積體電路接腳視像檢測系統 IC Lead Vision Inspection System	蘇桓平
64	炙燒 Burn-In	許勝傑
68	雷射打印系統 Laser Marking System	陳舜生陳貞夙
通訊電子儀器
71	有線電視分析儀 CATV Analyzer	吳忠倫
74	視訊分析儀 Waveform Monitor and Vectorscope	孫嘉瑜
78	類比通訊分析儀 Analog Communication Analyzer	謝金明
84	電磁相容分析儀 EMC Analyzer	吳忠倫
88	向量式信號分析儀 Vector Signal Analyzer	謝金明
其他
94	鎖相放大器 Lock-In Amplifier	簡碧堯
99	Box-Car 積分平均儀 Box-Car Integrator and Averager	簡碧堯

101	中文關鍵字索引
103	英文關鍵字索引

環境及安全衛生檢測儀器

頁碼	標題	作者
空氣及煙道氣採樣檢驗類
1	動壓平衡態等速煙道採樣組裝 Isokinetic Stack Sampling Train	杜敬民
4	皮托管及壓差計 Pitot Tube and Differential Pressure Gauge	杜敬民
6	PM10 高流量採樣器 PM10 High Volume Sampler	杜敬民
8	高量空氣採樣器 High-Volume Air Sampler	杜敬民
11	揮發性有機化合物不鏽鋼筒自動採樣器 Auto Volatile Organic Compound Canister Sampler	杜敬民
13	Tenax 吸附管─加熱脫附儀器 Tenax Tube-Thermal Desorption Equipment	盧正權
15	揮發性有機化合物採樣組裝 Volatile Organic Sampling Train (VOST)	鄭鴻鉸
17	總氮氧化合物採樣組裝 Nitrogen Oxides Sampling Train	李怡萱
19	總硫氧化合物採樣組裝 Sulfur Oxides Sampling Train	李怡萱
21	氯化氫採樣組裝 Hydrogen Chloride Sampling Train	李怡萱
23	氣相層析∕自動監測儀 Gas Chromatography/ On-line Monitoring Device	賴慶智
25	開徑式監測儀器─差異吸收光譜儀 Differential Optical Absorption Spectrometer (DOAS)	吳怡靜
28	不鏽鋼採樣筒∕氣相層析質譜儀 Canister Analyzed by Gas Chromatography/Mass Spectrometer	盧正權
31	開放路徑式－傅立葉轉換紅外光譜儀 Open-Path Fourier Transform Infrared Spectrometer	張世易
34	多行程吸收槽－傅立葉轉換紅外光譜儀 Multi-Path Absorption Cells FTIR (Extractive FTIR)	張世易
38	氣相層析/紅外光譜儀/質譜儀 Gas Chromatograph/ Infrared Spectrometer/ Mass Spectrometer	葉銘鵬余榮彬
41	碳氫化合物分析儀 Hydrocarbon Analyzer	劉希平
44	氮氧化合物自動分析儀 Nitrogen Oxides Analyzer	謝嘉鋒
46	二氧化硫含量分析儀 Sulfur Dioxide Analyzer	謝嘉鋒
48	非分散性紅外線分析儀 Non-dispersive Infrared Analyzer (NDIR)	謝嘉鋒
50	奧塞特氣體分析儀 Orsat Apparatus	李怡萱
52	固定型酸雨自動分析儀 Automatic Acid Rain Monitor	謝炳輝陳明正
55	可攜式氣相層析儀 Portable Gas Chromatography (PGC)	葉陶淵
水質檢驗類
58	紫外光∕可見光分光光度計 Ultraviolet-Visible Spectrophotometer	陸　瑩
60	濁度計 Turbidimeter	陳世裕
62	海水採樣器 Seawater Sampler	白書禎
64	高壓分解釜 High-Pressure Bomb (Autoclave)	王竹方
土壤及廢棄物前處理檢驗類
67	自動元素分析儀 Automatic Organic Elemental Analyzer	趙慶光
70	吹氣捕捉設備 Purge and Trap Apparatus	盧正權
73	毒性特性溶出裝置 Toxicity Characteristic Leaching Apparatus	盧正權
75	熱脫附∕吹氣捕捉裝置 Thermal Desorption/Purge and Trap Apparatus	林銘達
78	閃點測定儀 Flash-Point Tester	王文忻
81	總有機碳分析儀 TOC Analyzer	蕭逸群
84	加速溶劑萃取儀 Accelerated Solvent Extractor (ASE)	王文珊
87	微波萃取設備 Microwave Extraction System	許道平
90	土壤粒徑分析儀 Soil Particle Size Analyzer	陳尊賢
輻射檢驗類
93	低背景加馬能譜分析儀 Low Background Gamma Spectrum Analyzer	朱鐵吉
97	低背景液體閃爍分析儀 Low Background Liquid Scintillation Analyzer	武及蘭
100	低背景阿伐能譜分析儀 Low Background Alpha Spectrum Analyzer	武及蘭
103	貝他能譜分析儀 Beta Spectrum Analyzer	武及蘭
106	熱發光劑量計 Thermoluminescent Dosimeter (TLD)	林松彥
109	極低頻電磁場檢測儀 Extremely Low Frequency Electromagnetic Field Monitor	許志英

111	中文關鍵字索引
113	英文關鍵字索引

材料分析儀器

頁碼	標題	作者
結構與表面分析
1	X 光粉末繞射儀 X-ray Powder Diffractometer	吳泰伯
4	X 光單晶繞射儀 X-ray Single Crystal Diffractometer	李其融陳克俊王　瑜
10	小角度 X 光散射儀 Small Angle X-ray Scattering Spectrometer (SAXS)	林滄浪鄭有舜
14	X 光位像儀 X-ray Diffraction Topographic Camera	張石麟
16	X 光螢光分析儀 X-ray Fluorescence Analyzer	林正雄
20	X 光全反射螢光光譜儀 Total Reflection X-ray Fluorescence Spectrometer (TXRF)	李志浩
22	掃描式電子顯微鏡 Scanning Electron Microscope (SEM)	杜正恭
25	掃描穿透電子顯微鏡 Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)	徐　統
28	場發射槍電子顯微鏡 Field Emission Gun Transmission Electron Microscope	陳福榮
31	聚斂束電子繞射法 Convergent Beam Electron Diffraction (CBED)	張志溥
34	電子能量損失譜儀及能量過濾器 Electron Energy Loss Spectrometer and Energy Filter	陳福榮張　立
37	X 射線波長散佈分析儀 Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS)	楊哲人
41	X 射線能量散佈分析儀 Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)	楊哲人
45	拉塞福回向散射分析儀 Rutherford Backscattering Spectrometer (RBS)	吳秀錦
48	掃描式光電子能譜顯微儀 Scanning Photoemission Spectromicroscope (SPEM)	柯正浩
50	掃描式電容顯微鏡 Scanning Capacitance Microscope	許朝雄陳恆生
54	磁力顯微鏡 Magnetic Force Microscope (MFM)	許朝雄陳恆生
56	電力顯微鏡 Electric Force Microscope (EFM)	許朝雄陳恆生
同步輻射材料分析
59	X 光吸收光譜 X-ray Absorption Spectroscopy (XAS)	李志甫
62	中子反射儀 Neutron Reflectometer	李志浩
64	三軸中子散射儀 Triple-axis Neutron Scattering Spectrometer	李文獻
67	中子、加馬及 X 射線放射照相術 Neutron, Gamma-ray and X-ray Radiography	袁立基
74	中子電腦化斷層攝影術 Neutron Computerized Tomography (NCT)	莊克士袁立基
76	核微量分析 Nuclear Microanalysis	李志浩
物理性質分析
78	輝光放電分光儀 Glow Discharge Spectrometer (GDS)	林樹均
82	平行金屬板介質共振器介電測量儀 Parallel-Conducting-Plate Dielectric Resonator Dielectrometer	傅坤福
87	彎柄儀 Bending Beam Apparatus	周卓煇翁文國
90	粒徑分析儀 Particle Size Analyzer	林正雄
94	旋轉式流變儀 Rotational Rheometer	張榮語楊文賢林峰賢
99	影像分析儀 Image Analyzer	葉均蔚
熱分析
102	膨脹儀 Dilatometer	張家瑞簡朝和
105	熱機械分析儀 Thermomechanical Analyzer (TMA)	張家瑞簡朝和
107	熱重分析儀 Thermogravimetry Analyzer (TGA)	許正源
109	熱差分析儀 Differential Thermal Analyzer (DTA)	許正源
111	示差掃描熱量分析儀 Differential Scanning Calorimetry (DSC)	許正源

113	中文關鍵字索引
117	英文關鍵字索引

醫療儀器

頁碼	標題	作者
生化檢驗設備
1	酵素免疫分析儀 Enzyme Immunoassay (EIA) Analyzer	吳正寧
4	化學冷光免疫分析儀 Chemiluminescence Immunoassay Analyzer	戴淑珍
7	自動血液細菌培養偵測系統 Automatic Blood Culture System	廖國欽
9	自動血液型態分類計數器 Automatic Blood Cell Differential Counter	羅俊偉
12	自動血球計數器 Automatic Cell Counter	華文海
15	流式細胞儀 Flow Cytometer	黃瑞璋
放射診療設備
19	單光子射出電腦伽傌閃爍攝影機 Single Photon Emission Computerized Gamma Scintillation Camera	杜高瑩
22	正子發射式斷層掃描機 Positron Emission Tomography (PET)	魏天佑錢本文蘇道誠
26	磁振造影儀 Magnetic Resonance Imaging (MRI) Tomography	李俊信
28	肺通氣掃描儀 Ventilation Scanner	魏天佑錢本文蘇道誠
32	醫用直線加速器 Linear Accelerator	鄭秀成
36	鈷六十遠隔治療機 Cobalt-60 Teletherapy Units	鄭秀成
40	伽傌刀立體定位放射手術系統 Gamma Knife Stereotactic Radiosurgery System	曾鑠鑠
44	X 光刀立體定位放射手術系統 X-Knife Stereotactic Radiosurgery System	曾鑠鑠
47	醫學影像雷射記錄儀 Medical Laser Imager	李鴻堯
49	蓋格計數器 Geiger-Muller Counter	詹英傑
生理診斷及監視設備
52	腦電位錄製儀 Electroencephalograph (EEG) Recorder	羅佩禎
54	誘導電位裝置及次刺激器 Event-Related Potential (ERP)：Recorder and Stimulator	羅佩禎
56	心電圖機 Electrocardiograph (ECG)	林啟萬吳造中
59	生理監視器 (床邊監視器) Physiologic Monitor (Bedside Monitor)	楊秋宏
63	肌電圖儀 Electromyograph Machine (EMG)	陳家進孫自宜
醫療輔助設備
66	注射幫浦 Infusion Pump (IP)	謝建興
69	輸液幫浦 Infusion Pump	吳玉洺
73	嬰兒保溫箱 Infant Incubator	陳金德
76	高壓氧氣治療裝置 Hyperbaric Oxygen Therapy Device (HBO)	楊里生
81	呼吸輔助器 Ventilator	詹飛龍
85	高頻率呼吸器 High Frequency Ventilator (HFV)	彭俞禎
87	麻醉機 Anesthesia Unit	詹飛龍
91	電擊去顫器 Defibrillator	黃俊凱林啟萬
94	心臟節律器 Cardiac Pacemaker	林啟萬吳造中
97	血液透析裝置 Hemodialysis Apparatus	洪石獅
101	眼科氬∕氪雷射裝置 Ophthalmic Argon/Krypton Laser Apparatus	王門傑
104	體外震波碎石機 Extracorporeal Shock Wave Lithotriptor	雷乾祥
108	電刺激器 Electrical Stimulator	趙福杉
111	等速肌力測試系統 Isokinetic Measurement System	蔚順華
114	步態分析儀 Gait Analyzer	李淑貞
118	電性安全分析儀 Electrical Safety Analyzers	陳金德

121	中文關鍵字索引
125	英文關鍵字索引

光學量測儀器

頁碼	標題	作者
光譜與光度量測儀器
1	黑體輻射儀 Black-Body Radiator	陳德請
5	單光儀 Monochromator	李龍正
9	光度計 Photometer	莊福明
11	色度計 Colorimeter	葉茂勳
15	波長計 Wavemeter	王啟倫
17	光學多頻道分析儀 Optical Multichannel Analyzer	陳振文
19	雷射功率∕能量計 Laser Power/Energy Meter	張奇偉
22	雷射光束能量分佈儀 Laser Beam Diagnostics	陳振文
23	光密度計 Optical Densitometer	許瑞倉
光干涉量測儀器
25	菲佐干涉儀 Fizeau Interferometer	吳宜玲
28	邁克爾遜干涉儀 Michelson Interferometer	張良知
32	馬赫－陳德干涉儀 Mach-Zehnder Interferometer	張良知
34	橫向剪切干涉儀 Lateral Shear Interferometer	黃俊杰
光學特性量測儀器
37	光學式粗度量測儀 Optical Profiler	葉茂勳
40	表面形狀測量儀 Surface Profile Measuring System	黃白萍
43	橢圓偏光儀 Ellipsometer	甘炯耀
45	角度可調式橢圓光譜偏光儀 Variable Angle of Incidence Spectroscopic Ellipsometer	朱正煒
49	球徑計 Spherometer	黃鼎名
51	雷射測徑儀 Laser Gauge	薛新國
53	焦距儀 Focal Length Meter	陳德請
57	透鏡定心儀 Lens Centration Equipment	薛新國
60	視度儀 Dioptermeter	薛新國
62	準直儀 Collimator	高清芬
65	自動視準儀 Autocollimator	呂錦華
68	鏡頭投影解像儀 Resolving Power Test Projector	莊福明
光學顯微鏡
70	立體顯微鏡 Stereomicroscope	薛新國
73	工具顯微鏡 Toolmaker Microscope	王述宜
76	干涉式顯微鏡 Interference Microscope	陳永富
79	共焦雷射掃描顯微鏡 Confocal Laser Scan Microscope	陸懋宏
84	掃描式近場光學顯微儀 Scanning Near-Field Optical Microscope	蔡定平
其它
87	雷射測距儀 Laser Range Finder	陳振文
90	雷射目標指示儀 Laser Target Designator	陳振文
92	雷射掃描解碼器 Laser Scanner for Barcode Reader	黎　邦
94	熱像儀 Thermal Imager (TI)	黃瑞峰

97	中文關鍵字索引
99	英文關鍵字索引

基本物理量量測儀器

頁碼	標題	作者
基本量量測儀器
1	雷射干涉儀 Laser Interferometer	方承彥
5	雷射都卜勒測距儀 Laser Doppler Displacement Meter	范光照
8	經緯儀 Theodolite (Transit)	焦經剛
12	萬能測長儀 Universal Measuring Machine	方承彥
15	光學投影儀 Optical Projector	張郭益
17	工具顯微鏡 Toolmaker Microscope	張郭益
19	真圓度量測儀 Roundness Measuring System	張郭益
22	三次元量測儀 Coordinate Measuring Machine	張郭益
26	塊規 Gauge Block	楊植雄
30	游標卡尺 Vernier Caliper	楊植雄
32	分厘卡 Micrometer	楊植雄
34	度盤規 Dial Gauge	楊植雄
36	高度規 Height Gauge	楊植雄
39	平台 Surface Plate	楊植雄
42	位移感測器 Displacement Meter	邱文昱
46	天平 Balance	楊植雄
49	法碼 Weight	楊植雄
52	電阻溫度計 Resistance Thermometer	李國琪
54	玻璃溫度計 Glass Thermometer	李國琪
56	熱電偶溫度計 Thermocouple Thermometer	李國琪
59	光高溫計 Pyrometer	吳清吉
導出量量測儀器
61	氣泡水平儀 Bubble Level	楊植雄
63	電子水平儀 Electronic Level	張郭益
65	萬能活動量角器 Universal Bevel Protractor	楊植雄
66	組合角尺 Combination Square	楊植雄
68	傾斜儀 Inclinometer	楊植雄
70	高斯計 Gaussmeter	黃清鄉
73	通量閘磁力計 Fluxgate Magnetometer	黃清鄉
74	磁通計 Fluxmeter	黃清鄉
78	磁阻計 Magneto-resistor Meter	黃清鄉
81	超導量子干涉儀 Superconducting Quantum Interference Device (SQUID)	黃清鄉
輻射度量儀器
85	加馬計數器 Gamma Counter	王信二
87	液體閃爍計數器∕貝他計數器 Liquid Scintillation Counter/ Beta Counter	王信二
89	劑量校正器 Dose Calibrator	王信二
92	輻射高性能液相層析儀 Radio HPLC	王信二
94	熱發光劑量計 Thermoluminescent Dosimeter (TLD)	黃正仲
96	袖珍劑量計 Pocket Dosimeter	黃正仲
98	化學劑量計 Chemical Dosimeter	陳家杰王信二
101	電子加速器 Cyclotron	陳志成
104	加馬照相儀 Gamma Camera	陳志成
106	電腦斷層攝影模擬儀 Computerized Tomographic Simulator	李俊信
108	單光子發射電腦斷層掃描儀 Single Photon Emission Computed Tomography (SPECT)	陳志成
110	X 光影像增強器 X-ray Image Intensifier	李俊信
112	淺部 X 光遠隔治療機 Superficial X-ray Teletherapy Machine	李俊信
真空度量儀器
114	熱陰極離子化真空計 Hot Cathode Ionization Gauge	郭冠助
118	冷陰極離子化真空計 Cold Cathode Ionization Gauge (Penning Gauge)	熊高鈺
121	氣體分壓分析儀 Partial Pressure Analyzer	許瑤貞
附錄
125	度量衡單位及其所用之倍數、分數之名稱、定義及代號

133	中文關鍵字索引
137	英文關鍵字索引

表面分析儀器

頁碼	標題	作者
電子儀
1	歐傑電子能譜儀 Auger Electron Spectrometer (AES)	潘扶民
5	X 光光電子能譜儀 X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS)	黃振昌
7	角析真空紫外光電子能譜儀 Angle Resolved Ultraviolet Photoelectron Spectrometer (ARUPS)	崔古鼎
10	高解析電子能量損失頻譜儀 High Resolution Electron Energy Loss Spectrometer (HREELS)	陳悅來莊東榮
離子儀
13	離子散射譜儀 Ion Scattering Spectrometer (ISS)	凌永健
16	二次離子質譜儀 Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS)	潘扶民
20	聚焦離子束微分析儀 Focused Ion Beam Microanalyzer	王玉麟
顯微術
23	掃描穿透電子顯微鏡 Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)	徐　統
26	掃描穿隧顯微鏡 Scanning Tunneling Microscope (STM)	張嘉升
29	原子力顯微鏡 Atomic Force Microscope (AFM)	林鶴南
32	場離子顯微鏡 Field Ion Microscope (FIM)	艾啟峰
表面晶格分析
36	氦原子表面散射 Helium Atom Scattering from Surface	楊耀文
39	低能電子繞射儀 Low Energy Electron Diffractometer (LEED)	周亞謙
42	高能量電子繞射儀 Reflection High Energy Electron Diffractometer (RHEED)	陳　恭
45	掠角 X 光繞射儀 Grazing Incidence X-ray Diffractometer	張石麟
其他
47	金屬表面電漿及二次諧波 Metal Surface Plasmon and Second Harmonic Generation	呂助增
50	表面磁光柯爾效應測量儀 Surface Magneto-Optical Kerr Effect (SMOKE)	盧志權

53	中文關鍵字索引
55	英文關鍵字索引

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民國八十六年以前出版之科儀叢書

在科技整合的時代裡，大型儀器設備常扮演著關鍵性的角色，行政院國家科學委員會在成立了貴重儀器使用中心後，更為各方面提供了大型儀器設備的使用機會。因此對大型精密儀器設備的通盤性瞭解，舉凡其操作原理、維修方法、應用範圍、功能特性等都成為重要之課題，目前國內對常用之大型儀器設備尚缺乏專輯性之介紹，本中心有鑑於此，在國科會之支助下，計畫對常用之大型儀器設備編撰介紹專輯，希望經由此種專輯之介紹，增進大家對大型儀器設備之通盤瞭解，進而能正確地利用及維護大型儀器設備，使其功能發揮到極致。

計畫中，本中心希望對核磁共振儀、電子顯微鏡、Ｘ光繞射儀、表面分析儀 (Auger / ESCA)、超導磁鐵/超導量子干涉元件磁量儀 (Super Conducting Magnet / Superconducting Quantum Device Magnetometer, SQUID) 等等均編撰專輯。

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第一章	系統概論		1
1.1		光機電技術的歷史回顧	1
1.2		光機電系統之技術範疇	5
1.3		光機電系統應用與產業	7
1.4		結論	11
‧		參考文獻	12
第二章	光學		13
2.1		光學基本原理	13
		2.1.1　幾何光學基本定律與光線追跡	13
		2.1.2　光學像差理論	20
		2.1.3　干涉	30
		2.1.4　繞射	35
		2.1.5　光的偏振	40
2.2		光學元件製作	41
		2.2.1　傳統光學元件製造技術	41
		2.2.2　塑膠射出成形	49
		2.2.3　精密玻璃模造技術	54
		2.2.4　超精密加工技術	59
		2.2.5　微光學元件製作	64
2.3		光學基礎量測	71
		2.3.1　光學元件規格	71
		2.3.2　量測原理與基礎檢測	79
		2.3.3　非球面鏡外形檢測	86
‧		參考文獻	93
第三章	光電轉換與整合		97
3.1		光電轉換基本技術	97
		3.1.1　雷射與光源	97
		3.1.2　光電二極體檢測器之選取	109
		3.1.3　光電前置放大訊號處理技術 (低頻與高頻)	112
		3.1.4　雷射光量自動控制	114
		3.1.5　類比訊號與數位訊號品質評估	116
3.2		二維成像訊號處理	118
		3.2.1　CCD 及 CMOS 感測器	118
		3.2.2　A/D 轉換處理	125
		3.2.3　時脈電路處理	131
		3.2.4　數位訊號處理	142
3.3		介面處理技術	145
		3.3.1　IEEE 1394	145
		3.3.2　USB	148
		3.3.3　LabWindows/CVI	151
		3.3.4　LabView	158
3.4		影像處理技術	169
		3.4.1　影像格式轉換	170
		3.4.2　影像增強	174
		3.4.3　影像壓縮	175
‧		參考文獻	180
第四章	機電整合		183
4.1		概述	183
4.2		壓電定位平台	184
		4.2.1　壓電平台之機構	184
		4.2.2　壓電驅動原理	192
		4.2.3　壓電平台精密控制	204
4.3		數位攝影機的機電系統	211
		4.3.1　自動對焦系統	213
		4.3.2　音圈馬達	214
		4.3.3　對焦致動器的控制	219
		4.3.4　音圈馬達的控制	221
		4.3.5　步進馬達的控制	223
‧		參考文獻	227
第五章	光機整合		229
5.1		光機設計	229
		5.1.1　設計程序	229
		5.1.2　環境影響與環境試驗	233
		5.1.3　常用材料	238
5.2		光學元件固緊技術實務	249
		5.2.1　運動學設計	250
		5.2.2　單片透鏡固緊設計	251
		5.2.3　多片透鏡固緊設計	255
		5.2.4　反射鏡與稜鏡固緊設計	257
		5.2.5　結語	260
5.3		變焦機構設計	261
		5.3.1　變焦鏡頭鏡組運動	261
		5.3.2　變焦機構的合成	261
		5.3.3　驅動機構	267
		5.3.4　變焦機構的設計程序	268
5.4		雜光分析及抑制	270
		5.4.1　前言	270
		5.4.2　雜光影響	271
		5.4.3　雜光來源	271
		5.4.4　光線傳遞	275
		5.4.5　雜光抑制及分析	277
		5.4.6　擋光板及擋光舵板	278
		5.4.7　結語	284
5.5		微光學元件封裝	284
		5.5.1　發光二極體封裝趨勢與挑戰	284
		5.5.2　雷射模組封裝趨勢與挑戰	287
		5.5.3　主被動微光學元件之連接封裝	290
		5.5.4　光通訊產品的未來封裝趨勢	291
5.6		光干涉術及其在實驗力學之應用	292
		5.6.1　基礎觀念	292
		5.6.2　邁克森干涉儀	295
		5.6.3　疊紋干涉儀	297
		5.6.4　光斑干涉儀	300
		5.6.5　剪切干涉儀	303
		5.6.6　相移術	308
‧		參考文獻	314
第六章	系統整合設計及模擬		317
6.1		光學系統整合設計與模擬之要件	317
6.2		光源特性與光源模擬	321
6.3		後處理系統與模擬條件設定	323
6.4		系統特性分析與模擬優化	324
		6.4.1　多組態最佳化	325
		6.4.2　大域最佳化	326
6.5		公差與良率之模擬分析語	329
		6.5.1　ISO 10110 公差	329
		6.5.2　基本統計知識	330
		6.5.3　系統效能之容忍度分析的一般考量	332
		6.5.4　與優化結合的公差分析	337
6.6		測試模擬	337
6.7		整合系統模擬分析案例	338
		6.7.1　成像儀的外觀與機構	339
		6.7.2　成像儀鏡組的重建與確認	340
		6.7.3　成像儀鏡組的容忍度分析	346
		6.7.4　CCD 成像儀之雜光分析	347
		6.7.5　實測與太空中觀察之結果	352
6.8		結論	352
‧		參考文獻	353
第七章	系統組裝及檢測		355
7.1		系統組裝簡介	355
		7.1.1　組裝環境基本需求	355
		7.1.2　系統組裝調整基本要領	358
		7.1.3　調校儀器原理與使用介紹	361
7.2		系統組裝調整	369
		7.2.1　雷射讀寫系統	369
		7.2.2　相機系統	381
7.3		系統品質量測	384
		7.3.1　有效焦長與背焦長	384
		7.3.2　場曲及焦深	389
		7.3.3　調制轉換函數值	396
		7.3.4　偏心	402
		7.3.5　照度與亮度	408
		7.3.6　光輻射度	411
		7.3.7　色溫	417
‧		參考文獻	421
第八章	實例介紹		423
8.1		投影機	423
		8.1.1　前言	423
		8.1.2　CRT 投影機	424
		8.1.3　微鏡片陣列反射式投影機 (DLP 投影機)	424
		8.1.4　穿透式液晶投影機	427
		8.1.5　反射式液晶投影機	430
		8.1.6　結論	432
8.2		視覺取像系統	433
		8.2.1　CCD 攝影機	433
		8.2.2　攝影硬體裝置與幾何關係	443
8.3		雷射全像數位系統	450
		8.3.1　數位全像術	451
		8.3.2　電子光斑干涉術	452
		8.3.3　時間及空間相移法	457
		8.3.4　壓電材料傳感器	463
		8.3.5　傅立葉分析	472
		8.3.6　相位展開	477
		8.3.7　雙折射檢測與相位鎖住技術	482
		8.3.8　壓電致動微奈米定位平台	485
		8.3.9　同調及非同調光源於干涉術之應用	491
‧		參考文獻	501
第九章	遠景與未來發展		507
9.1		光電產業應用與發展	507
		9.1.1　數位投影機	507
		9.1.2　數位影像取像裝置	510
		9.1.3　光碟機與光儲存媒體	512
9.2		微機電與奈米產業應用與發展	515
		9.2.1　微機電系統與奈米科技綜觀	515
		9.2.2　汽車安全氣囊感測器	517
		9.2.3　噴墨列印頭	517
		9.2.4　投影機數位微鏡元件	518
		9.2.5　MEMS光開關	518
		9.2.6　無線通信 RF MEMS	519
		9.2.7　奈米科技產業	520
9.3		檢測設備產業應用與發展	521
		9.3.1　自動光學檢測設備	521
		9.3.2　微∕奈米檢測設備	523
‧		參考文獻	525
中文名詞索引			527
英文名詞索引			533

序言		v
諮詢委員		vii
編審委員		viii
作者		ix
第一章	概論	1
1.1	緣起	1
1.2	尺寸效應	1
1.3	發展趨勢	3
‧	參考文獻	5
第二章	基礎微加工製程模組	7
2.1	熱製程及離子佈植	7
2.2	圖案轉移	33
2.3	薄膜	56
‧	參考文獻	71
第三章	矽微加工製程技術	75
3.1	微機電技術發展歷程與簡介	75
3.2	體型微加工技術	78
3.3	面型微加工技術	97
3.4	與積體電路製程相容技術	112
‧	參考文獻	133
第四章	非矽微加工製程技術	141
4.1	前言	141
4.2	X 光深刻技術	145
4.3	類 LIGA 製程光刻技術	172
4.4	精密電鑄技術	225
4.5	微成形技術	246
4.6	微放電加工技術	254
4.7	非矽質的微細加工低溫製程	269
4.8	高分子加工技術	285
‧	參考文獻	309
第五章	微機電材料	321
5.1	前言	321
5.2	基板／塊材材料	328
5.3	薄／厚膜材料	336
5.4	微感測材料	361
5.5	微致動材料	377
5.6	封裝材料	392
5.7	材料分析	401
‧	參考文獻	409
第六章	微結構	417
6.1	微鏡片	417
6.2	微噴嘴	432
6.3	微探針	449
6.4	微流道	453
6.5	結語	460
‧	參考文獻	462
第七章	微感測器	467
7.1	力感測器	467
7.2	熱感測器	520
7.3	流量感測器	532
7.4	聲音傳感器	544
7.5	其他感測器	570
‧	參考文獻	602
第八章	微致動器	611
8.1	前言	611
8.2	靜電式微致動器	614
8.3	電熱式微致動器	657
8.4	電磁式微致動器	670
8.5	壓電式微致動器	678
8.6	氣／液動式微致動器	690
‧	參考文獻	696
第九章	系統整合與介面	705
9.1	前言	705
9.2	微系統訊號與雜訊之分析	706
9.3	系統介面之設計	712
9.4	控制設計與演算法則	731
9.5	系統整合之實例	759
‧	參考文獻	767
第十章	封裝技術	769
10.1	前言	769
10.2	封裝設計	770
10.3	低階封裝製程	786
10.4	高階封裝製程	811
10.5	封裝機台	818
10.6	封裝案例	823
‧	參考文獻	837
第十一章	檢測技術	841
11.1	基礎檢測技術	841
11.2	薄膜殘餘應力量測技術	864
11.3	掃描式顯微鏡檢測技術	886
11.4	表面聲波顯微檢測技術	946
11.5	振動檢測技術─雷射干涉儀	952
11.6	光柵式奈米檢測技術	960
11.7	脈衝式電子斑點及全像干涉儀檢測技術	978
11.8	生物微系統檢測技術	995
11.9	微流場檢測技術	1006
11.10	可靠性檢測技術	1022
‧	參考文獻	1039
第十二章	模擬與分析技術	1049
12.1	前言	1049
12.2	微機電分析模擬基本架構與內容	1052
12.3	元件特性之物理領域模擬	1056
12.4	系統階層模擬分析技術	1075
12.5	製程模擬	1094
12.6	現有之發展介紹	1098
‧	參考文獻	1102
第十三章	微機電系統應用	1107
13.1	微光機電系統	1107
13.2	生物微機電系統	1117
13.3	射頻微機電系統	1160
13.4	其他工程應用	1202
‧	參考文獻	1229
第十四章	奈米機電系統技術	1241
14.1	前言	1241
14.2	奈米機電系統的元件	1245
14.3	奈米機電系統的應用	1252
14.4	展望未來	1260
‧	參考文獻	1261

序言		v
諮詢委員		vii
編審委員		vii
作者		ix
基　礎　篇		1
第一章	真空概論	3
1.1	真空的定義	3
1.2	真空壓力與真空度	3
1.3	自然界的真空與標準大氣成份	5
1.4	真空的區分	6
第二章	氣體分子動力論	9
2.1	熱運動速度	9
2.2	平均自由徑	11
2.3	理想氣體方程式	14
2.4	氣體的傳輸現象	16
．	參考文獻	17
第三章	氣流與氣導	19
3.1	氣流流域	19
3.2	氣流通量、質量流和氣導	20
3.3	連續流	21
3.4	自由分子流	25
3.5	過渡流	38
3.6	跨越數個壓力區的模型	40
3.7	流場區域的摘要	42
．	參考文獻	44
第四章	氣體的吸附和放出	45
4.1	表面氣體吸附對真空技術的影響	45
4.2	氣體分子在固體上的行為	46
4.3	熱過程導致的氣體放出	54
4.4	粒子激發導致的氣體放出	58
4.5	影響氣體釋氣率的因素	63
．	參考文獻	68
第五章	電漿放電	71
5.1	電漿系統特性與基礎原分子程序	71
5.2	直流放電系統	79
5.3	射頻放電系統	82
5.4	微波放電系統	87
5.5	電弧放電系統	94
．	參考文獻	100
第六章	真空幫浦	101
6.1	真空幫浦之定義、分類與選用要素	101
6.2	正排氣式幫浦	107
6.3	動力式幫浦	116
6.4	儲氣式幫浦	154
6.5	真空幫浦性能檢測	178
．	參考文獻	186
第七章	真空度量	189
7.1	真空度量分類與選用要素	189
7.2	機械式真空計	192
7.3	熱傳導真空計	211
7.4	離子真空計	216
7.5	黏滯性真空計	224
7.6	微量氣體分壓度量裝置	228
7.7	流量計	233
．	參考文獻	241
第八章	真空材料、元件與封合	243
8.1	真空材料概論	244
8.2	金屬與合金	248
8.3	玻璃與陶瓷	251
8.4	高分子材料	255
8.5	真空封合	258
8.6	真空閥門	263
8.7	真空引入	267
8.8	真空附件	273
．	參考文獻	277
第九章	真空系統設計與裝配	279
9.1	真空系統之分類	279
9.2	真空系統之組配	280
9.3	真空系統抽氣概念與設計	283
9.4	真空腔設計	290
9.5	超高真空及極高真空系統設計	294
9.6	真空系統設計常用符號及繪製法	299
．	參考文獻	307
第十章	真空測試與測漏	309
10.1	真空測漏基本概念	309
10.2	測漏方法與儀器	311
10.3	氦氣測漏儀	313
10.4	測漏實務	318
．	參考文獻	322
第十一章	真空標準與校正	323
11.1	真空標準之理論基礎與規範	323
11.2	真空計的校正方法	325
11.3	轉移真空標準器	332
11.4	真空計比較校正系統設計規範與規劃	333
11.5	真空計的校正程序及不確定度評估	339
11.6	其他真空校正技術	340
第十二章	真空技術應用簡介	343
12.1	真空技術之應用範圍	343
．	參考文獻	345
實　務　篇		347
第十三章	真空鍍膜系統	349
13.1	熱電阻式蒸鍍系統	349
13.2	電子束蒸鍍系統	359
13.3	直流濺射鍍膜系統	369
13.4	射頻濺射鍍膜系統	379
13.5	離子濺射鍍膜系統	389
13.6	雷射剝鍍系統	398
13.7	分子束磊晶系統	409
13.8	冷陰極電弧電漿沉積法	417
13.9	化學氣相沉積設備	433
．	參考文獻	448
第十四章	真空冶金系統	451
14.1	前言	451
14.2	真空冶金學基礎	451
14.3	金屬之真空精煉	454
14.4	真空冶金工業製程	455
14.5	真空冶金之應用	463
．	參考文獻	464
第十五章	真空熱處理系統	465
15.1	真空熱處理爐的類型與構造	465
15.2	真空熱處理之理論基礎	472
15.3	真空熱處理爐的各項功能	475
15.4	真空熱處理爐之問題點	481
15.5	系統維護與保養	485
．	參考文獻	488
第十六章	電子束銲接系統	491
16.1	發展過程與製程概述	491
16.2	系統原理與架構	491
16.3	電子束銲接的優缺點	493
16.4	系統分類	494
16.5	銲接程序與銲接參數選擇	497
16.6	工業應用實例	502
．	參考文獻	506
第十七章	電漿蝕刻真空系統	507
17.1	基本原理	507
17.2	電漿蝕刻設備	510
17.3	電漿蝕刻系統	513
17.4	基本操作示範	515
．	參考文獻	516
第十八章	離子氮化系統	517
18.1	系統工作原理	517
18.2	系統硬體結構	519
18.3	系統操作實務	523
18.4	系統功能與應用	525
．	參考文獻	526
第十九章	真空冷凍乾燥系統	527
19.1	冷凍的意義	527
19.2	乾燥的意義	528
19.3	真空乾燥原理	529
19.4	真空乾燥方法與使用的設備	531
19.5	真空冷凍乾燥技術應用之領域	536
19.6	真空冷凍乾燥技術應用實例	537
．	參考文獻	542
第二十章	加速器真空系統	543
20.1	加速器真空系統設計要點	543
20.2	小型加速器 (范氏加速器) 真空系統	546
20.3	大型加速器 (電子同步加速器與儲存環真空系統)	549
．	參考文獻	560
第二十一章	核子工程與真空系統	561
21.1	核融合工程與真空系統	561
21.2	輻射線應用技術與真空系統	562
．	參考文獻	566
第二十二章	表面分析儀	567
22.1	前言	567
22.2	表面分析與超高真空	567
22.3	表面分析儀	568
22.4	真空表面分析系統	583
22.5	結語	594
．	參考文獻	594
第二十三章	太空環境模擬系統	597
23.1	大型熱真空環境模擬系統	597
23.2	太空磁暴及輻射環境模擬系統	604
．	參考文獻	612
第二十四章	台灣產業普遍真空處理系統	615
24.1	半導體工業	615
24.2	光電工業	623
24.3	材料工業	644
．	參考文獻	654
中文索引		659
英文索引		671

第一章		電子顯微鏡在材料科學上的應用	1
第二章		電子顯微鏡之結構及其成像原理	21
第三章		電子單次繞射理論	45
第四章		電子繞射圖形之幾何性質	73
第五章		單次散射近似範圍內之像對比理論	105
第六章		電子繞射對比多次散射理論	135
第七章		應用多次散射理論研究缺陷	153
第八章		雙相材料的繞射與對比效應	191
第九章		收斂束電子繞射	211
第十章		高分辨成像	241
第十一章		掃描式電子顯微鏡	285
第十二章		掃描穿透式電子顯微鏡Ｘ射線分析儀之原理及對合金之應用	321
第十三章		電子顯微鏡在電子材料方面之應用	343
附錄	1	電子能量與波長對照表	395
	2	繞射振輻公式	396
	3	面心及鑽石立方晶體倒晶格向量長度比一覽表	401
	4	體心立方晶體倒晶格向量之長度比一覽表	402
	5	立方晶體中 {h1 k1 l1} 及 {h2 k2 l2} 面間夾角一覽表	403
	6	雙晶之繞射分析	404
	7	相位對比轉移函數	406
	8	Huygens 原理與繞射	409
	9	「科儀新知」相關文獻索引	417
		中英文名詞索引	421

第一章	電子顯微鏡簡介	1
第二章	固定與包埋	23
第三章	超薄切片技術	39
第四章	負染色，金屬投影與鑄模	61
第五章	冷凍斷裂與冷凍蝕刻技術	83
第六章	掃描式電子顯微鏡技術	109
第七章	細胞化學法	133
第八章	免疫電子顯微鏡術	143
第九章	自動放射顯像術	159
第十章	生物試樣冷凍製片技術	169
第十一章	生物立體顯微技術	189
第十二章	分析型電子顯微鏡	209
附錄	「科儀新知」相關文獻一覽表	237
	中英文名詞索引	239

第一章	光學系統簡介		1
1.1		前言	1
1.2		高斯光學	2
		1.2.1　光學系統中的主平面值	3
		1.2.2　範例介紹	6
1.3		輻射度學和光度學	7
		1.3.1　朗伯發光源的光出射度	9
		1.3.2　鏡頭光通量的收集量	9
		1.3.3　鏡頭像面上的照度	10
		1.3.4　物空間和像空間的亮度關係	11
		1.3.5　光學系統中的光照度	11
		1.3.6　範例介紹	12
1.4		目視光學系統	14
		1.4.1　眼鏡的分辨率	14
		1.4.2　望遠系統	14
		1.4.3　顯微鏡	16
		1.4.4　雙目鏡	17
		1.4.5　目視儀器的設計要求	18
1.5		投影系統	19
		1.5.1　單片式投影機	19
		1.5.2　三片式 LCD 投影機	19
		1.5.3　DLP 投影機	20
		1.5.4　LCOS 投影機	21
		1.5.5　以半導體元件為光源的投影機	21
1.6		數位成像系統	23
1.7		變焦系統	24
		1.7.1　兩鏡組式變倍系統	25
		1.7.2　三鏡組式變倍系統	26
1.8		特殊光學系統	28
		1.8.1　紅外線系統	28
		1.8.2　Fθ 鏡頭	29
		1.8.3　傅利葉轉換鏡頭	30
		1.8.4　高功率半導體雷射系統	31
1.9		結論	32
‧		參考文獻	32
第二章	基礎光學設計		33
2.1		鏡組初階設計	33
		2.1.1　近軸光線追跡	34
		2.1.2　符號定義	34
		2.1.3　近軸光線追跡公式	34
		2.1.4　有效焦距與後焦距	35
		2.1.5　入瞳和出瞳之位置與大小	35
		2.1.6　範例	37
2.2		波面像差	40
		2.2.1　波面像差的函數理論	40
		2.2.2　光點像差與波面像差間的關係	42
		2.2.3　像面縱向位移對像差值的影響	43
		2.2.4　賽德像差公式的推導	44
		2.2.5　波面色像差	49
		2.2.6　賽德像差公式	51
		2.2.7　範例	52
2.3		商用設計軟體功能介紹	55
2.4		品質評估	61
		2.4.1　解析度	61
		2.4.2　光線追蹤與像差	62
		2.4.3　光線追蹤曲線	62
		2.4.4　離焦	64
		2.4.5　球面像差	64
		2.4.6　彗差	65
		2.4.7　像散	66
		2.4.8　色差	66
		2.4.9　畸變	67
		2.4.10　光程差	67
		2.4.11　光斑圖	69
		2.4.12　點擴散函數與徑向能量分布	69
		2.4.13　調制轉函數	71
2.5		容差分析	75
		2.5.1　容忍度分析	75
		2.5.2　統計概念	76
		2.5.3　容差分析的方法與流程	80
‧		參考文獻	83
第三章	光學材料特性介紹		85
3.1		簡介	85
3.2		常用的玻璃及陶瓷材料特性	86
		3.2.1　常用的玻璃材料特性	86
		3.2.2　常用的陶瓷材料特性	91
3.3		常用的塑膠材料特性	92
		3.3.1　光學塑膠概論	93
		3.3.2　光學塑膠的特性	95
		3.3.3　光學塑膠的種類與應用	97
		3.3.4　光學塑膠的未來發展	100
3.4		常用的金屬材料特性	102
3.5		常用的晶體材料特性	107
		3.5.1　光學晶體材料	107
		3.5.2　非線性光學晶體材料	110
		3.5.3　人造寶石晶體材料	113
‧		參考文獻	115
第四章	國際光學元件製圖標準		117
4.1		ISO10110 光學製圖標準	118
		4.1.1　ISO 10110-1 一般原則	119
		4.1.2　ISO 10110-2 材料缺陷－應力雙折射	125
		4.1.3　ISO 10110-3 材料缺陷－氣泡與雜質	127
		4.1.4　ISO 10110-4 材料缺陷－非均勻度與脈紋	128
		4.1.5　ISO 10110-5 表面形狀誤差	129
		4.1.6　ISO 10110-6 偏心誤差	131
		4.1.7　ISO 10110-7 表面缺陷誤差	133
		4.1.8　ISO 10110-8 表面紋理	134
		4.1.9　ISO 10110-9 表面處理與鍍膜	136
		4.1.10　ISO 10110-10 光學元件圖面說明	136
		4.1.11　ISO 10110-11 未標註公差規格	138
		4.1.12　ISO 10110-12 非球面圖面標註	139
		4.1.13　ISO 10110-14 波前變形誤差	140
		4.1.14　ISO 10110-17 雷射發光起損值	142
4.2		英國光學製圖標準	143
		4.2.1　一般製圖標註	143
		4.2.2　尺寸與公差標註	147
		4.2.3　材質與外形精度標註規範	148
‧		參考文獻	154
第五章	傳統光學元件加工		157
5.1		球面透鏡加工	157
		5.1.1　切割	157
		5.1.2　圓整	158
		5.1.3　成形	160
		5.1.4　研磨	165
		5.1.5　拋光	173
		5.1.6　定心	177
		5.1.7　清潔	180
		5.1.8　膠合	182
5.2		稜鏡加工	183
		5.2.1　傳統稜鏡製作技術	183
		5.2.2　先進稜鏡製作技術	185
5.3		特殊元件加工	85
		5.3.1　平行平面鏡	186
		5.3.2　圓柱面鏡	187
		5.3.3　拋物面鏡與非球面鏡	188
5.4		光學元件清洗與存放	189
		5.4.1　污染物	190
		5.4.2　清潔試液	191
		5.4.3　玻璃鏡片潔淨方式	192
		5.4.4　鏡片之存放	193
‧		參考文獻	194
第六章	超精密加工		195
6.1		概論	195
6.2		精密加工之基本要求及影響加工精度之因素	196
6.3		超精密加工法的分類	199
6.4		單點鑽石切削	201
		6.4.1　簡介	201
		6.4.2　鑽石車刀	201
		6.4.3　影響 SPDT 加工工件形狀精度之因素	203
		6.4.4　影響工件表面粗糙度之因素	206
		6.4.5　鑽石車削之發展現況	207
6.5		磨粒加工技術	211
		6.5.1　磨粒加工的定義與特性	211
		6.5.2　磨削與拋光加工的特點	212
		6.5.3　砂輪的特性	213
		6.5.4　磨削機構之幾何學	216
		6.5.5　化學機械拋光	218
‧		參考文獻	220
第七章	玻璃光學元件模造成形		223
7.1		前言	223
7.2		玻璃模造技術之進展	225
		7.2.1　一模多穴單站式玻璃模造機	227
		7.2.2　一模一穴連續式玻璃模造機	228
7.3		模造製程控制參數對玻璃鏡片精度之影響	230
7.4		影響陶瓷模仁壽命的因素	233
		7.4.1　模造玻璃材料	233
		7.4.2　模仁材料	234
		7.4.3　模仁形狀	235
		7.4.4　製程參數	235
7.5		改善陶瓷模仁壽命的方法	236
		7.5.1　玻璃模造模仁表面鍍膜技術之發展	237
		7.5.2　低摩擦且低磨損的模仁表面鍍膜設計原理	238
		7.5.3　模具表面鍍膜方法之選擇	241
7.6		結論	243
‧		參考文獻	243
第八章	塑膠光學元件加工		245
8.1		射出成形	245
		8.1.1　製程簡介	245
		8.1.2　微射出成形	247
		8.1.3　微射出壓縮成形	248
		8.1.4　常用之光學塑膠材料	249
8.2		熱壓成形	251
		8.2.1　製程簡介	251
		8.2.2　微熱壓成形材料	252
		8.2.3　製程參數對光學元件的品質影響	253
		8.2.5　微熱壓成形衍生方法	254
8.3		表面處理及保護	257
		8.3.1　塗層與沉積	257
		8.3.2　鍍膜	258
8.4		應用範例	259
		8.4.1　導光板	259
		8.4.2　微射出壓縮成形對二吋導光板微結構品質的影響	264
		8.4.3　微透鏡陣列	269
		8.4.4　其他光學元件	272
‧		參考文獻	273
第九章	光學鍍膜		275
9.1		引言	275
9.2		重要的玻璃光學薄膜	276
		9.2.1　抗反射膜	277
		9.2.2　高反射膜	279
		9.2.3　冷光鏡	282
		9.2.4　UV-IR 截止濾光片	284
		9.2.5　彩色濾光片	284
		9.2.6　偏振光分光鏡	286
		9.2.7　DWDM 濾光片	287
9.3		玻璃光學薄膜的製鍍方法	290
		9.3.1　熱蒸發蒸鍍法	291
		9.3.2　電漿濺鍍法	295
		9.3.3　離子束濺鍍法	298
9.4		塑膠鍍膜	303
		9.4.1　塑膠鍍膜例子	305
		9.4.2　塑膠鍍膜之製鍍	307
‧		參考文獻	309
第十章	材料缺陷檢測		311
10.1		表面刮痕與刺孔	312
10.2		氣泡	312
10.3		脈紋	314
10.4		不均勻度	316
10.5		應力雙折射效應	317
‧		參考文獻	320
第十一章	加工精度檢測		321
11.1		形狀精度	321
		11.1.1　白光干涉式表面輪廓儀	321
		11.1.2　雷射干涉式探針量測輪廓儀	322
11.2		表面粗糙度	325
		11.2.1　表面粗糙度相關名詞	326
		11.2.2　表面粗糙度表示方法與定義	330
		11.2.3　表面粗糙度量測方法	334
		11.2.4　表面粗糙度表示法	340
11.3		偏心	344
11.4		平行度	347
11.5		角度	348
11.6		折射率與色散率	350
11.7		波前精度	353
‧		參考文獻	354
第十二章	組件品質檢測		355
12.1		有效焦距測量	355
		12.1.1　直接測量後主點至焦點的距離	355
		12.1.2　放大率法	356
		12.1.3　後焦長量測	357
12.2		聚焦透鏡與光學讀寫頭成像點量測	358
12.3		擴散片的散射特性量測	361
		12.3.1　擴散片	361
		12.3.2　擴散特性	362
		12.3.3　散射儀	362
12.4		離軸非球面反射鏡參數檢測	364
		12.4.1　離軸反射鏡規格及參數定義	364
		12.4.2　離軸反射鏡參數檢測	366
12.5		極化光量測與偏極化元件檢測應用	368
		12.5.1　極化光	368
		12.5.2　起偏器	369
		12.5.3　雙折射晶體與相位延遲器	371
		12.5.4　偏極量測	372
12.6		回反射器精度檢測	374
12.7		繞射光柵特性參數檢測	381
		12.7.1　繞射效率的檢測方式	382
		12.7.2　平面光柵的檢測	383
		12.7.3　凹面光柵的檢測	385
‧		參考文獻	386
第十三章	薄膜品質檢測		387
13.1		穿透率、反射率、散射、吸收率	387
		13.1.1　UV/Vis/NIR 分光光譜儀	389
		13.1.2　穿透率	390
		13.1.3　反射率	391
		13.1.4　散射	393
		13.1.5　吸收率	394
13.2		折射率與消光係數	397
		13.2.1　橢圓偏光儀	397
		13.2.2　光譜儀 (包絡法)	406
		13.2.3　全反射衰減 (ATR) 儀	411
13.3		厚度	416
		13.3.1　探針法	417
		13.3.2　X 射線螢光法	419
		13.3.3　反射光譜法	420
13.4		堆積密度與水氣吸收率	422
		13.4.1　堆積密度的定義	424
		13.4.2　水氣吸收的影響	424
		13.4.3　薄膜堆積密度的提高	429
13.5		顯微結構分析	429
		13.5.1　穿透式電子顯微鏡	430
		13.5.2　掃描式電子顯微鏡	440
13.6		薄膜粗糙度	441
13.7		結晶性與應力	445
		13.7.1　X 光繞射法	445
		13.7.2　機械式懸臂法	448
		13.7.3　干涉式牛頓環法	449
13.8		薄膜應力與熱膨脹係數	450
		13.8.1　前言	450
		13.8.2　原理	450
		13.8.3　量測方法	453
13.9		成分分析	457
		13.9.1　能量散布光譜儀	458
		13.9.2　X 光光電子能譜儀 (XPS)	461
13.10		薄膜硬度與附著性量測	464
		13.10.1　薄膜硬度測試	464
		13.10.2　薄膜附著性測試	467
13.11		光學薄膜環境測試	472
		13.11.1　機械穩定性測試	473
		13.11.2　溫度與熱循環之影響	475
		13.11.3　化學穩定性	476
		13.11.4　特殊應用之其他耐久測試	476
13.12		薄膜電阻	478
		13.12.1　電阻率定義	479
		13.12.2　四點探針儀	480
		13.12.3　任意形狀試片電阻量測	481
		13.12.4　霍爾效應量測系統	482
		13.12.5　展阻量測	484
		13.12.6　導電式原子力顯微鏡術	484
		13.12.7　非接觸電阻率量測	485
13.13		雷射破壞	486
		13.13.1　雷射破壞的機制	486
		13.13.2　雷射破壞的量測	487
‧		參考文獻	489
第十四章	非球面檢測		497
14.1		接觸式輪廓儀法	498
14.2		光學式輪廓儀法	500
14.3		電腦全像干涉法	502
14.4		剪切式干涉法	505
14.5		補償鏡法	506
14.6		非干涉量測法	509
‧		參考文獻	511
第十五章	絕對量測		513
15.1		絕對平面量測	513
15.2		絕對球面量測	516
15.3		絕對表面粗糙度量測	520
15.4		絕對非球面量測	521
‧		參考文獻	524
第十六章	商品實例介紹		525
16.1		投影顯示技術	525
		16.1.1　原理介紹	525
		16.1.2　光機引擎光學零組件	531
		16.1.3　LCD 光機引擎技術分析	540
		16.1.4　LCOS 光機引擎技術分析	543
		16.1.5　DLP 光機引擎技術分析	548
		16.1.6　結語	553
16.2		LED 光源迷你投影機	553
		16.2.1　產品發展現況	553
		16.2.2　高亮度發光二極體光源	558
		16.2.3　未來展望	559
16.3		相機手機鏡頭技術	560
		16.3.1　相機手機獨領風騷	560
		16.3.2　影像感測元件的技術趨勢	561
		16.3.3　相機手機的基本規格	563
		16.3.4　高階相機手機為未來趨勢	565
		16.3.5　相機手機的發展瓶頸	568
		16.3.6　遠景及未來展望	570
16.4		數位攝錄影機之變焦鏡頭	571
		16.4.1　數位攝錄影機與數位相機變焦鏡頭的差異	574
		16.4.2　發展回顧	576
		16.4.3　商品實例介紹	579
		16.4.4　產業遠景及發展	582
16.5		HD-DVD 讀取物鏡	583
		16.5.1　光學設計技術	584
		16.5.2　製程技術	586
		16.5.3　超精密加工技術車削 HD-DVD 讀寫頭之物鏡	586
		16.5.4　藍光讀取頭物鏡射出成形技術	592
		16.5.5　結論	593
16.6		人眼視光學系統的檢測技術	593
		16.6.1　Landolt 測試圖樣	594
		16.6.2　波前前導儀	595
16.7		立體 (3D) 顯示技術	599
		16.7.1　前言	599
		16.7.2　發展現況	601
		16.7.3　百家爭鳴的技術現況	604
		16.7.4　未來展望	612
16.8		LED 背光模組技術	612
		16.8.1　LED 光源特性及優勢	613
		16.8.2　LED 背光系統技術	614
		16.8.3　技術問題及解決方案	617
		16.8.4　產業契機	618
‧		參考文獻	619
第十七章	遠景及未來發展		621
17.1		負折射率光學元件	621
		17.1.1　實驗與分析	622
		17.1.2　結論及建議	630
17.2		自我複製式光子晶體	630
		17.2.1　光子晶體簡介	631
		17.2.2　自我複製式光子晶體	636
		17.2.3　製作方法	639
		17.2.4　應用範例	640
		17.2.5　結論	642
17.3		微光學元件	642
		17.3.1　製造技術	643
		17.3.2　應用趨勢	651
		17.3.3　結論	655
17.4		結語	656
‧		參考文獻	657
中文名詞索引			659
英文名詞索引			665

第一章	實用質譜分析術摘要	1
第二章	化學游離法質譜術	19
第三章	快速原子撞擊質譜技術及其應用	37
第四章	傅立葉轉換質譜術簡介	57
第五章	低能量碰撞誘導解離之串聯質譜儀	87
第六章	磁場式質譜儀之質譜/質譜分析法 (高能碰撞引致裂解)	115
第七章	氣相層析質譜術在環境分析上之應用	141
第八章	氣相層析質譜法及其應用於先天性代謝異常症－甲基丙二酸尿症之研究	183
第九章	質譜儀在禁藥及運動員用藥檢測方面的應用	199
第十章	質譜技術在食品成份分析上之應用	221
第十一章	氣相層析質譜法的應用－脂肪酸	243
第十二章	質分離子顯微術在生物和醫學上的應用	275
第十三章	感應偶合電漿質譜儀	341
第十四章	質譜儀之維護與保養	369
	中英文名詞索引	377

第壹部份		結晶學原理
第一章		基本結晶學	3
第二章		晶體幾何及投影	59
第三章		倒置座標	99
第貳部份		Ｘ光繞射原理
第四章		Ｘ光的特性與偵測	121
第五章		契合散射與繞射	147
第六章		傅立葉轉換	171
第七章		實際晶體繞射	187
第八章		Ｘ光儀原理及影響繞射因素	219
第參部份		Ｘ光繞射之基本應用
第九章		單晶繞射	243
第十章		粉末繞射	271
第十一章		定性與定量分析	301
第十二章		晶體結構分析	323
第肆部份		材料結構分析
第十三章		序化晶體之繞射	365
第十四章		殘餘應力之分析	385
第十五章		繞射峰形分析	407
第十六章		優選織構測定	429
第十七章		非晶質散射	459
第十八章		小角度散射	483
第十九章		平面缺陷及薄膜分析	501
第二十章		Ｘ光顯微分析技術	519
附錄	1	重覆數 (因子)	539
	2	諸元素之質量吸收係數－常用六種靶標之Ｋ放射	541
	3	各元素特性輻射波長及吸收界波長	544
	4	極化因子及勞侖茲因子與繞射角度函數表	548
	5-1	原子散射因子	550
	5-1	原子散射因子異常散射修正	554
	6	元素之晶體結構	561
	7	結晶之結構符號	565
索引			575