主任室
真空技術與應用群
真空儀器與檢校技術組
先進材料製程與設備組
智慧鍍膜設備發展組
光學技術與應用群
精密光機製造技術發展組
智慧光學檢測儀器發展組
感測與光譜影像技術發展組
光機電系統整合組
智慧機電傳動組
策略營運與對外服務
技術服務組
國際合作小組
企劃小組