鄭振華主任
1968–1971
清大原子科學研究所鄭振華所長兼任主任(第一任)
張去疑主任
1971–1975
張去疑教授接任第二任
汪一彪主任
國科會精儀中心
1975–1976
蘇青森主任
國科會精儀中心
1976–1987
王大庚主任
國科會精儀中心
1987–1993
黃文雄主任
國科會精儀中心
1993–2000
陳建人主任
國研院儀科中心
2000–2008
蔡定平主任
國研院儀科中心
2008–2012
葉哲良主任
國研院儀科中心
2012–2017
楊燿州主任
